气体管路设计,这些要点你get了吗?
大家好,我是苏承栈。今天我们来聊聊气体管路设计,这可是个技术活儿,搞不好会影响到整个系统的安全性和稳定性。下面,我们就来详细解析一下气体管路设计的七大要点。
1. 气体特性
首先,我们要了解气体的特性。根据气体特性,我们可以将其分为腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区和惰性气体区。相同性质的气体要集中管理,特别是可燃性气体区,要特别规划防爆墙和泄漏口。
2. 输送距离
管路设计要考虑输送距离,距离越长,成本越高,风险也越高。通常,合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S。在用量设计方面,要考虑使用点的压力和管径大小。
3. 设备分布情况
根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网大小长短应适宜,不宜过大或过长。宜采用不封闭的环形管路,在末端连续不断排放少量的气体,以防止“死空间”引起高纯气体的污染。
4. 减少管路“死区”
管路中不应设有盲管,减少不流动气体的“死区”。在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置,以确保供气系统的安全、可靠运行。
5. 输送系统“分等级”
对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统。也可采用同等级输送系统,但在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。
6. 采样仪器及“采样口”
为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器外,还应设置定期取样用的检测采样口。
7. 确保气体纯度
在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体。为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。
盖斯帕克管路设计实施方法
盖斯帕克拥有专业的设计、研发、工程及技术施工人员。自主设计研发生产,拥有多项国家专利及特气系统施工资质,严格执行国际特气安装标准。
一是主管路系统的设计。在确定好气体房和用气点后,主管路系统一般遵循管道线路最短,拐弯最少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。
二是辅助系统的设计。气体柜或控制面板在安装和运输的过程中,需要对其重新进行高压气密性试验和氦检,气体的置换也需要用到高压氮气或氦气。
三是材料的选择。特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光(EP)管道,阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、VCR接头等。
以上就是气体管路设计的七大要点和盖斯帕克管路设计实施方法。希望对大家有所帮助。我是苏承栈,关注极星编程网(www.jxgpc.com),了解更多编程知识。
